単結晶シリコン炉の高調波制御方式

単結晶炉は、希ガス環境下で太陽電池などの原料多結晶を高純度グラファイトヒーターを用いて溶解し、チョクラルスキー法により無転位の単結晶を育成する装置です。単結晶炉が一般的に使用されます。単結晶シリコン、単結晶ゲルマニウム、単結晶ガリウムヒ素などの多くの製品は、エレクトロニクス産業やその他のハイテク産業にとって重要な原材料です。我が国の経済発展の継続的な成長に伴い、単結晶炉の応用はますます広範囲になるでしょう。

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工業炉の重要な分野の 1 つである単結晶炉は、多くのエネルギーを消費します。高い電気コストと高調波汚染は製品の品​​質低下につながり、多くの単結晶炉ユーザーにとって大きな悩みとなっています。世界中の多くのポリシリコン炉顧客の環境保護とエネルギー節約の緊急の要求に応えて、多くのメーカーが多くの有利な努力と試みを行ってきました。ポリシリコン炉システムの技術変革プロジェクトを実行するために、多くの人が過渡現象、サージ、高調波抑制製品からシステムを保護しようとしていますが、実際のアプリケーションでは、ポリシリコン炉の高調波周波数は主に 5 次、7 次、および 11 次高調波であることが示されています。亜高調波の最大含水率は 45% を超え、第 7 高調波は 20%、第 11 高調波は 11%、総フレーム損失率は 49.43% を超え、最小力率はわずか 0.4570、最大力率はわずか 0.6464 )。したがって、これらの機器のパルス電流管理方法は無視できず、省エネ効果も満足できるものではない。さらに深刻なのは、パルス電流のエネルギーが電気機器の耐荷重範囲を大幅に超えており、長期間使用すると損傷しやすいことです。事故の発生率が高いと、会社の生産の通常の稼働に影響があり、リソースの無駄や顧客の苦痛につながります。
この種の機器用に私が設計した一連のフィルタ補償装置は、上記の問題を効果的に解決できます(2つの方法:高調波制御と無効電力補償の両方が基準を超える必要がある場合は、高調波制御ループ+無効電力調整ループを使用します。通常の動作では無効電力補償のみが必要であり、力率が仕様を超えています)。高調波を制御するだけでなく、無効負荷も補償できます。高調波環境汚染を完全に排除し、力率を向上させることができます。大きな経済的メリット。運用コストは通常​​ 3 ~ 5 か月以内に回収できます。

主な特徴:

1. 顧客のシステム ソフトウェア* の場合、5 次、7 次、11 次、13 次などの明確な特徴的な高調波。フィルタリング効果は明ら​​かです。
2. 高調波は管理可能ですが、補償は無効です
3.フィルターデバイスが動作すると、電力品質が大幅に向上し、衝撃負荷によって引き起こされる電流の影響が改善され、電圧変動が減少し、電圧ちらつきが抑制され、電圧の信頼性が向上し、電圧品質が向上します。力率を 0.96 以上に高めることができ、ユーザー線の損失が減少することで配電変圧器の負荷効率が向上し、経済的メリットは明らかです。
4. 各フィルターループの切り替えにはパフォーマンスバキュームスイッチが使用されます。自動制御システムは詳細で、過電流保護、過電圧保護、過電流保護などのメンテナンス機能も完璧です。実際の動作は信頼性が高く、操作は簡単です。

調和的なガバナンスの利点:

1. パルス電流制御装置の設置後、高調波電流を合理的に低減でき、変圧器の合理的な体積を増加でき、対応するケーブル容量も増加し、拡張に必要なプロジェクト投資が削減されます。
2.パルス電流制御装置を設置した後、変圧器の損失を効果的に削減でき、変圧器の安全動作指数を向上させ、省エネと排出削減の目的を達成できます。

選択できるソリューション:

プラン1
集中管理用(1台の変圧器を共用して複数の炉を同時運転するのに適しており、配電室にはフィルタ補償装置が装備されています)
1. 高調波制御分岐(5、7、11 フィルタ)+無効電力調整分岐を使用します。フィルタ補償装置が動作すると、電源システムの高調波制御と無効電力補償が要件を満たします。
2. アクティブフィルタ(動的高調波の次数を除去)と高調波対策分岐回路(5、7、11次フィルタ)#+無効調整分岐回路を採用し、フィルタ補償装置に提供した後、高調波の無効補償を要求します。電源システム。
3. 高調波を抑制するために無効な補償デバイス (5.5%、6% リアクトル) を使用し、フィルタ補償デバイスを挿入した後、電源システムに無効な補償を実行するように要求します。
シナリオ 2
現場管理(単結晶シリコン炉の電源盤横にフィルター補償盤を設置)
1.高調波制御分岐(5、7、11フィルタリング)を採用しており、入力後の高調波無効電力は基準値に達します。
2. 相互影響を避けるため、保護リアクトルとフィルタ二重ループ電源 (5 次および 7 次フィルタ) を選択し、接続後のパルス電流が仕様を超えないようにしてください。


投稿時刻: 2023 年 4 月 13 日